Spektroskopia elektronów Augera
advertisement
SPEKTROSKOPIA ELEKTRONÓW AUGERA AES – Auger Electron Spectroscopy Sabina Gorycka EFEKT AUGERA Elektron Augera Ek = E1 – E2 – E3 SCHEMAT PROCESU AUGERA Jonizacja głęboko leżącego poziomu elektronowego przez elektrony pierwotne. Nieradiacyjny zanik Augera Emisja elektronu Rejestracja energii kinetycznej elektronów, które uciekły do próżni Emisja fotonu X EMISJA ELEKTRONU A EMISJA FOTONU – PROCESY KONKURENCYJNE Do Z=20 (wapń) dominuje emisja elektronów (90%). W pobliżu germanu (Z=32) emisja elektronów Augera i fotonów X jest jednakowo prawdopodobna Dla ciężkich pierwiastków dominuje emisja fotonów X. NOMENKLATURA ZJAWISKA Proces Augera jest charakteryzowany przez zespół trzech liter, odpowiadającymi poszczególnym powłokom i podpowłokom biorącym udział w procesie Augera. L2L3M Powłoka, z której pochodzi elektron Augera Powłoka, na której występuje dziura elektronowa Przejście elektronu REGUŁA COSTNER-KRONING Najefektywniejsze są przejścia, w których biorą udział dwa elektrony znajdujące się na tej samej powłoce, np. KLL lub LMM. OBRAZOWANIE POWIERZCHNIOWE 2D Używa się źródła elektronów o małej średnicy wiązki MAPY AUGER’A DLA FAZY SKŁADAJĄCEJ SIĘ Z CHROMU, WĘGLA, AZOTU I KOBALTU OBRAZOWANIE PRZESTRZENNE 3D Wiązka jonowa zdziera zewnętrzne warstwy. Wiązka elektronowa analizuje odkryty obaszar. ZALETY SPEKTROSKOPII ELEKTRONÓW AUGERA Możliwość rejestracji wszystkich pierwiastków z wyjątkiem wodoru i helu. Prosta interpretacja wyników (baza widm wzorcowych i widma od indywidualnych pierwiastków nie nachodzą na siebie). Możliwość przeprowadzania dwu i trójwymiarowej analizy. Modularna budowa spektrometru – możliwość łączenia z innymi technikami badawczymi. Czułość ~0.01 monowarstwy. WADY SPEKTROSKOPII ELEKTRONÓW AUGERA Naruszenie a nawet niszczenie badanej powierzchni Obniżenie gęstości prądu Pogorszenie zdolności rozdzielczej i stosunku sygnału do szumu Metoda AES jest powszechnie stosowana do badania wzrostu cienkich warstw. Natężenie linii zależy od grubości warstwy.
