tryb zgodności - Zakład Fizyki Stosowanej

advertisement
Alicja Gabryś
Krzysztof Smuda
Wydział Matematyczno – Fizyczny
Politechniki Śląskiej, kierunek fizyka
techniczna
• Podstawy zjawiska
• Zastosowanie metody
• Aparatura pomiarowa
• Wyniki badań metodą AES
• Podsumowanie
Energia kinetyczna
elektronu Augera
Ekin = EK – EL1 – EL2
• Identyfikacja pierwiastków na powierzchni ciała stałego
• Wyznaczanie rozkładu pierwiastków na powierzchni (mapy)
• Wyznaczanie profili wgłębnych składu chemicznego struktur
warstwowych
• Zastosowanie w badaniach przemysłowych korozji, katalizy,
mikroelektronice półprzewodnikowej
„Laboratorium spektromikroskopii
elektronów Augera
SAM/AES”, Zakład Fizyki Stosowanej, Instytut Fizyki
Politechniki Śląskiej, własność High-Tech International
Services, Rzym
Źródło wiązki
elektronowej o
określonej energii
kinetycznej
Jonizacja głębokich poziomów
energetycznych
Cylindrical Mirror Analyzer
Przez szczeliny przepuszczane są elektrony o
określonych energiach
Trawienie jonami argonu pozwala na
odsłonięcie niżej położonych warstw
Można uzyskać profil głębokościowy
Jony argonu pochodzą z działa
jonowego
Mikrokrater w strukturze
wzorcowej
SiO2 (100 nm) – Si
wytrawiony jonami Ar+
Widmo elektronów
emitowanych z próbki
Widmo całkowe elektronów
Augera
Widmo zróżniczkowane
elektronów Augera
Diagram głównych wartości energii
elektronów Augera, standardowe
widma pierwiastków - podstawowe
narzędzia do analizy widm
Cel: wyznaczenie względnych koncentracji
pierwiastków zidentyfikowanych
Współczynnik wagowy piku
=
- wysokość piku oznaczanego pierwiastka,
- wysokość piku srebra,
– współczynnik skali,
Względna koncentracja pierwiastka
=
,
∑ ,
– względna koncentracja oznaczanego pierwiastka,
- wysokość piku oznaczanego pierwiastka,
- wysokości pików pozostałych pierwiastków w widmie,
, – współczynnik wagowy piku względem piku srebra,
(2)
Widmo różniczkowe pochodzące z
głębszych warstw drutu miedzianego po
trawieniu jonami Ar+.
Widmo różniczkowe AES powierzchni drutu miedzianego.
Widmo różniczkowe AES powierzchni drutu
miedzianego.
Widmo różniczkowe powierzchni stali
chromowo-niklowej.
Widmo różniczkowe pochodzące z
głębszych warstw stali chromowoniklowej po trawieniu jonami Ar+.
Zalety:
Możliwość identyfikacji wszystkich pierwiastków poza H
i He
Duża czułość – 1% monowarstwy atomowej
Uzyskiwanie obrazów 2D
Wady
Możliwość uszkodzenia próbki przez bombardujące
elektrony
Metoda niszcząca przy wytrawianiu powierzchni
Możliwość analizy sprowadza się do materiałów
przewodzących
Skomplikowana analiza ilościowa
Szuber J., Powierzchniowe metody badawcze w nanotechnologii
półprzewodnikowej, Wydawnictwo Politechniki Śląskiej,
Gliwice 2002.
Szaynok A., Kuźmiński S., Podstawy fizyki półprzewodników,
Wydawnictwo Naukowo – Techniczne, Warszawa 2000.
Palmberg P., Raich G., Weber R., MacDonald N., Handbook
Of An Auger Electron Spectroscopy, Physical Electronics
Industries, Inc. Edina, Minnesota 1972.
Narumand D., Childs K., Auger Spectrometers: A Tutorial
Review,
Eden Prairie, MN 1999.
http://www.chemia.uj.edu.pl/~jamroz/wyklad/AES.pdf
Download